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潔淨形式有哪些呢?
1.潔淨室按工藝特點、空氣潔淨度等級和布置要求分為隧道式、開放式和微環境等。
2.潔淨室按氣流流型分為單向流潔淨室、非單向流潔淨室和混合流潔淨室。
3.電子工業潔淨廠房宜采用混合流潔淨室,對空氣潔淨度要求嚴格時,宜采用微環境型式
二、潔淨廠房防火設計要求
1.電子潔淨廠房的耐火等級不應低於二級。
2.電子潔淨廠房潔淨區各層專用消防口的設計,應符合現行國家標準《潔淨廠房設計規範》GB 50073的有關規定。
三、潔淨廠房環境參數控製要求
微粒、對產品質量有害的雜質、溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等。
四、潔淨廠房空氣風淋室的設計要求(人員淨化)
1.在潔淨室(區)的入口處宜設空氣風淋室,當不設風淋室時,應當設氣閘室。
2.風淋室應設在更換潔淨工作服後的相鄰部位。
3.單人風淋室,應按最大班人數每30人設一台;潔淨室(區)工作人員超過5人時,風淋室一側應設單向旁通門。
4.風淋室的進、出門不得同時開啟,要采取連鎖控製措施。
5.空氣潔淨度等級為5級或嚴於5級的垂直單向流潔淨室(區),宜設氣閘室。
6.潔淨工作服更衣室的空氣潔淨度等級宜低於相鄰潔淨室(區)的空氣潔淨度等級。
五、潔淨廠房靜壓差設計要求
1.不同等級的潔淨室之間的靜壓差應大於等於5Pa。
2.潔淨室與非潔淨室之間的靜壓差應大於5Pa。
3.潔淨室與室外的靜壓差應大於10Pa。
各行業的潔淨度等級
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